(2017.01. 18~20 : 동경 Big Sight에 개최되는 InterNepcon 전시회 출품)

 

 
 

 

 

 

Rapid Thermal Process(ing)  /  Rapid Thermal Annealing

     
 

 

RTP, RTA, RTO, RTN, RTD.... 등의 다양한 연구 수행이 가능한 컴팩트한 디자인의
급성 진공 열처리 전문 장비입니다 !

소형 wafer에서 300mm wafer用(4, 6, 8, 12인치)까지 다양한 RTP/RTA 장비 공급 !

1 챔버 - 1 컨트롤러, 2 챔버 - 1 컨트롤러(옵션) / 10-3 hPa, 10-6 hPa(옵션) !

 

 

 

 

독일 UniTemp社의 RTP(RTA) 장비 리스트

      본 장비는 연구 목적으로 개발된 모델들로서 연구실의 공간에 적합한 컴팩트한 디자인
      (
555(W) x 460(H) x 520(D) (mm))과 정교한 온도 제어(온도 상승/온도 하강 모두), 다양한 공정/분위기
      가스 사용, 그리고 진공 상태에서의 다양한 연구 과제를 수행할 수 있도록 개발.생산되고
      있습니다.        세계적인 응용기술연구의 리더인 독일 프라운 호퍼 -  
      기초기술연구 기관 막스 프랑크에서도 사용하고 있는  최정상급의 신뢰성을 가진 제품입니다.

 
 

 

 

 VPO-1000-300 공정 전 300mm wafer       

 VPO-1000-300 공정 후 300 mm wafer