MEMS(Microelectromechanical Systems의 약어)의 사전적 의미는
      미세 기술로서 기계 부품,
센서, 액츄에이터, 전자 회로를 하나의 실리콘 기판 위에 집적화 한 장치를 가리킨다.
      주로
반도체 집적회로 제작 기술을 이용해 제작되지만 반도체 집적회로에서 평면을 가공하는 프로세스로 제작할 때
      입체 형상을 만들어야 하므로 반도체 집적회로의 제작에는 쓰이지 않는다.
에칭이라 불리는 제작 프로세스가 포함된다.

      현재 제품으로서 시판되고 있는 것으로서는 잉크젯 프린터의 헤드, 압력 센서, 가속도 센서, 자이로스코프, 프로젝터 등등이 있다.
      응용 분야가 다방면에 걸쳐 있기 때문에 시장 규모가 확대되고 있다. 이 때문에 제2의
DRAM이라고도 말하고 있다.       

       - 위키백과 -

 

2존(zone) MEMS 패키징 고진공 실러 ( Ø100 mm)

 

 

 

 

2존(zone) MEMS 패키징 고진공 실러 ( Ø200 mm)

 

                                                                                              

 

 

 

 

- 모델별 온도 상승/하강 리스트 -